PVD涂層屬于微米級(jí)薄膜，厚度一般為0.1μm～2μm。這樣薄薄的一層如何測(cè)量其厚度呢？森豐小編給大家分享一下幾種常見的PVD涂層厚度測(cè)量方法。

首先，可以通過球磨測(cè)厚，該方法只適用于平面產(chǎn)品，用金屬球固定磨穿一個(gè)小孔，通過測(cè)量小孔的內(nèi)外圓半徑計(jì)算出PVD涂層的厚度，這種測(cè)厚方法也是破壞性的測(cè)試；其次，使用X-ray測(cè)量，這種測(cè)厚方法無破壞性且對(duì)產(chǎn)品形狀要求不高。X-ray測(cè)量PVD涂層厚度時(shí)要注意程式設(shè)定及元素排位；第三，可以通過橫截面測(cè)試PVD涂層厚度，這種方法也叫做切片測(cè)試，將樣品切割開來進(jìn)行樣本鑲嵌，再借助金相顯微鏡進(jìn)行測(cè)量；此外，還有一種比較高端的方法SEM，即電鏡掃描儀，測(cè)試前也需要通過切片鑲嵌樣本，SEM不僅能測(cè)出PVD涂層各層的厚度，而且還可以進(jìn)行膜層表面形貌及成分分析。

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