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真空蒸發(fā)鍍與磁控濺射鍍的區(qū)別你了解嗎?
來源: | 發(fā)布日期:2022-06-27

真空蒸發(fā)鍍與磁控濺射鍍 相比較他們有自己的加工工藝,其工藝特點也各有優(yōu)劣勢,小編就來簡單介紹一下兩者的工藝與優(yōu)劣勢吧!

真空蒸發(fā)鍍膜是指在真空條件下,通過蒸發(fā)源加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在基板材料表面來獲得薄膜的一種技術(shù)。被蒸發(fā)的物質(zhì)被稱為蒸鍍材料。真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)具有簡單便利、操作方便、成膜速度快等特點,是應(yīng)用廣泛的鍍膜技術(shù),主要應(yīng)用于光學(xué)元器件、LED、平板顯示和半導(dǎo)體分立器的鍍膜。真空鍍膜材料按照化學(xué)成分主要可以分為金屬/非金屬顆粒蒸發(fā)料,氧化物蒸發(fā)料,氟化物蒸發(fā)料等。

真空蒸發(fā)鍍與磁控濺射鍍

磁控濺射鍍膜是指在真空條件下,通過導(dǎo)電產(chǎn)生磁場,將靶材電解分離成離子,再通過電流磁場將離子附著到基材表面,得到薄膜的一種技術(shù)。根據(jù)使用的原材料材質(zhì)不同,濺射靶材可分為金屬/非金屬單質(zhì)靶材、合金靶材、化合物靶材等。磁控濺射鍍膜工藝可重復(fù)性好、膜厚可控制,可在大面積基板材料上獲得厚度均勻的薄膜,所制備的薄膜具有純度高、致密性好、與基板材料的結(jié)合力強等優(yōu)點,已成為制備薄膜材料的主要技術(shù)之一,各種類型的濺射薄膜材料已得到廣泛的應(yīng)用,因此,對濺射靶材這一具有高附加值的功能材料需求逐年增加,濺射靶材亦已成為目前市場應(yīng)用量最大的PVD鍍膜材料。

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